İlçe toprakları genelde az eğimli alanlardır. Silivri yöresinin içinde bulunduğu bölgedeki topografya, hafif dalgalı düzlükler biçiminde, yüksekliği 60 metreyi geçmeyen tepeler şeklindedir. Söz konusu topografya; güneyde deniz kıyısından başlamakta ve kuzeye doğru yavaş yavaş yükselmektedir. Doğuda, Muratçeşme bölgesindeki Keltepe ile Araptepe, başlıca engebeleri oluşturmaktadırlar. İlçe dahilinde yüksek dağlar bulunmamaktadır. İlçe sınırlarında çok önemli akarsu yatakları olmayıp Çanta Deresi, Gelevri Deresi, Kova Deresi, Tuzla Deresi ve Karılar Deresi gibi küçük dere ve çaylar bulunmaktadır.